集成電路硅片清洗超純水設備，蘇州微電子工業(yè)清洗高純水設備

純水設備安裝步驟

1、將預處理器和反滲透純水主機安置在接近水源和電源的地方。

2、填裝石英砂、活性炭、軟化樹脂等過濾材料。

3、連接水路：分別將原水泵進水口與水源、預處理過濾器出口與主機進口連接，預處理過濾器、主機排水口均用管路連接至下水道。

4、電路：首先將接地線可靠接地，并將隨機所配電源線接到房間電控箱內(nèi)。

5、通入水源、電源，按照“預處理操作說明”的要求按步驟操作，預處理調(diào)試操作完成。

6、使用本機，原水泵開關，撥在自動位置，并旋開停機開關。接通水源、電源，待多級泵口壓力達到壓力控制器設定值時，多級泵啟動工作。多級泵啟動后，調(diào)系統(tǒng)壓力在1.0-1.2Mpa。首次啟動應對RO膜系統(tǒng)進行手動沖洗30分鐘。

純水設備的安裝調(diào)試步驟：

大型純凈水設備的安裝與調(diào)試有著嚴格的控制與條件的，我公司的安裝調(diào)試必須遵循以下條件：

1、當設備進入生產(chǎn)車間之后，應該穩(wěn)妥的放置在室內(nèi)，對于室內(nèi)氣溫的要求大于等于5℃，氣溫上限不能大于三十八攝氏度，如果在生產(chǎn)過程中室內(nèi)氣溫過高會對設備造成嚴重損壞，所以需要加強通風措施降低室內(nèi)氣溫。

2、設備到達應該盡快安裝，然后進行試水實驗檢測設備問題，盡快解決。

3、設備如果還沒做好試水通水的準備，不要開啟各個重要的閥門。

4、選好放置設備的位置后，選擇穩(wěn)定支撐點進行水平放置，并且確保機器在運轉(zhuǎn)的過程中能夠有可以輔助的依靠物來進行固定。

5、管道與管道之間如需要連接，進行密封處理，進行脫脂的處理。

6、水管的輸出高度應該小于八米。

7、清洗裝置與RO裝置間如用硬管連接，則進回管均不得直接鋪設在地面上，以免損壞。