型號：VGT-1018S

產(chǎn)品特點：

1，腐蝕工藝自動補藥液*證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性；

2，工藝參數(shù)（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可

設(shè)定；

3，機臺前方為清洗工作區(qū)域，機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液

路布置區(qū)域。

4，藥液供給及補液方式: 分體式CDS自動供液系統(tǒng)

5，DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；

6，配有分體式廢液回收系統(tǒng)；

7，配備自動滅火系統(tǒng)；

8，環(huán)保型自動、智能清洗系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：

用于鍺片鍍膜前處理的清洗，也可以用于其他晶片的清洗腐蝕；

工藝說明：手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件；

設(shè)備形式：室內(nèi)放置型；

設(shè)備結(jié)構(gòu)：一體式、中央集成型

技術(shù)參數(shù):

超聲波功率：900w

超聲波頻率：28khz/48khz

換能器數(shù)量：18個

電源電壓:三相五線380V